接受台灣鍍膜科技協會「終身成就獎」致詞
首先我要恭賀「台灣鍍膜科技協會」慶祝成立二十周年。從大會會場協會時光走廊展示的協會發展歷史。可見協會歷年來舉辦各種有意義活動,蓬勃發展,協助台灣鍍膜產學研界更上層樓,居功厥偉,可喜可賀。
在協會二十周年慶特殊時刻,多蒙諸先進抬舉,頒贈最高榮譽「終身成就獎」。本人雖然是鍍膜科技老兵,但成就實屬有限,領起獎來有些心虛﹔要特別感謝獎章委員會主任委員杜正恭教授說明這獎項有以勵來茲的意義,同時承蒙協會獎章委員會以及理監事們的抬愛,本人深感榮幸。
個人與鍍膜結緣,始於1980年在美國康乃爾大學擔任訪問學者之時,當時的研究群主持人J.W.
Mayer教授是世界從事金屬矽化物薄膜研究的先驅,因而展開金屬鍍膜與矽晶反應研究﹔由於我在攻讀博士階段,主要是以穿透式電子顯微鏡研究矽晶中的缺陷,從事金屬鍍膜與矽晶研究可謂天作之合﹔次年返國後,時逢台灣半導體產業正萌芽發展,金屬矽化物薄膜很明顯地是決定積體電路元件性能中關鍵因素之一,不論在國際學界與業界都受到相當的重視﹔再加上國科會的長期在研究計畫上的支持,教育部與國科會補助購置貴重儀器,如國內第一部原子分辨電子顯微鏡(ARTEM),附有臨場偵測反射式電子繞射儀超高真空雙電子槍蒸鍍機(UHV
Dual E-Gun + REHEED),附有臨場偵測低能量電子繞射儀超高真空電子槍蒸鍍機與掃描穿隧式電子顯微鏡 (UHV
STM + LEED),附有雙電子槍蒸鍍機之超高真空電子顯微鏡 (UHV TEM + dual E-Gun),以及球面像差校正原子分辨電子顯微鏡
(Cs-corrected TEM) 等貴重製程與分析設備,同時又有豐沛的優質博士生人力,所以得以在領域前沿有相當優良的成果﹔由於明天下午我將在年會大會中報告所從事鍍膜研究的經驗與心得,考慮「終身成就獎」有鼓勵後進的原旨,我謹在此約略反思一下我個人的鍍膜研究對台灣學術界與產業界可能的影響。
第一是階段性扮演在頂尖期刊發表論文的衝刺開路腳色﹔如1971-83年,台灣在應用物理領域很難被接受發表論文的頂尖期刊Applied
Physics Letters共發表18篇論文,到1980-84年,增加到30篇論文,而我的研究小組發表13篇,但到2007年一年中,台灣作者即發表389篇論文﹔又如2001-2006年台灣在奈米科技領域頂尖期刊Nano
Letters共發表16篇論文,在2007-2010年增加到34篇論文,而我的研究小組發表12篇, 各約占三分之一。同時台灣作者在2011-2014 發表已增加到100篇論文,在2014年一年中,即達32篇。
第二是協助創辦國際期刊「材料化學與物理」(Materials
Chemistry and Physics,MCP)﹔本人在1990年年中接受「中國材料科學學會」委託,籌辦國際期刊,經與國際多家學術期刊出版商連繫與晤談,最後與當時並迄今世界學術期刊最大出版商Elsevier簽約敲定自1992年一月起接辦該公司旗下已進入「科學引文索引」(Science
Citation Index,SCI)選刊的MCP,並擔任首任主編,至2003年卸任。MCP自「中國材料科學學會」接辦後一直維持其國際期刊特色,自次年起迄今連續獲得國科會(現科技部)「傑出期刊獎」,近年來其影響因子(Impact
factor)更一直維持在2.0以上。巧的是杜正恭教授將於明年一月接任MCP主編,在此也預祝杜教授鴻圖大展。
第三是積極參與國際學術活動,爭取國際能見度與肯定﹔在我參加的四個國際性學會中,均得到相當的榮譽。包括獲頒美國礦冶與材料學會 (The
Mineral, Metallurgy and Materials Society, TMS) 的William Hume-Rothery獎,美國電化學學會 (The
Electrochemical Society, ECS) 電子與光子學門獎,美國材料研究學會會士 (Fellow, Materials Research
Society, MRS) 以及美國真空學會會士 (Fellow, American Vacuum Society, AVS),在國際學術界得到相當的肯定。同時也獲選為世界科學院院士 (Member, The World Academy of
Sciences, TWAS)與俄羅斯國際工程學院院士 (Member, Russian International
Academy of Engineering) 。
第四是培育許多優秀的人才,到今年為止,培育了105位博士生以及相當多的碩士生,畢業生除少數在國外發展外,遍佈國內學術界與產業界,有二十幾位在國內外大學任教,許多在國內外創業成功或在重要企業擔任高級主管。
這些成就無一不與鍍膜研究息息相關,因此說鍍膜研究「惠我良多」可謂毫不為過。如果要探究原因,我個人除一向抱持為學須勤而專的想法,長期努力耕耘,也深深受益於前述的「天時、地利、人和」,也就是不論是金屬鍍膜或奈米材料研究,都是當時學界與業界重視的研究,有優良研究環境的清華大學位於世界矚目的半導體重鎮,新竹科學園區之中,也有幸與許多傑出學者與優秀的學子共同研究,堪稱受有相當福報的人﹔如果要算年齡,我國古代大教育家孔子享壽73歲,我今年剛好屆孔子享壽之年,處於半退休的狀態,對未來的期許,是繼續對社會有所貢獻﹔另一方面,深覺個人所以有一個總體而言,令人滿意的生涯,要感謝的人很多,以後主要是我回報之日﹔再次感謝協會的抬愛,頒贈令我深以為榮的「終身成就獎」。最後祝大家健康快樂。